株式会社フィッシャー・インストルメンツ
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FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-μ WAFER
ポリキャピラリーレンズ（Polycapillary Optics）を搭載し、ウェハーの膜厚測定と素材分析を自動測定できるよう特別設計された高性能蛍光Ｘ線式測定装置です。
カタログダウンロードポリキャピラリーレンズを搭載し、ウェハーの膜厚測定と素材分析を自動測定できるよう特別設計された高性能蛍光Ｘ線式測定装置です。
| 型式 | XDV-μ WAFER |
|---|---|
| 測定元素範囲 | Al（13）～U（92） |
| Ｘ線検出器 | シリコンドリフト検出器（SDD） |
| Ｘ線管球 | マイクロフォーカスチューブ |
| プライマリフィルター | 4種類（切替式） |
| Ｘ線光学系 | ポリキャピラリーレンズ Φ20µm （オプション Φ10µm） |
| 本体寸法 | 680 x 900 x 690mm （幅 x 奥行 x 高さ） |
| ウェハーサイズ | 6, 8, 12インチに対応 |
| 消費電力 | 最大120W |
