株式会社フィッシャー・インストルメンツ
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FISCHERSCOPE® X-RAY XDAL®
Ｘ線検出器に、半導体検出器（PIN）搭載の「XDAL 237」、シリコン・ドリフト検出器（SDD)搭載の「XDAL 237 SDD」をラインナップ。4種類のコリメーターと3種類のプライマリフィルターを搭載しており汎用性の高い機種です。
カタログダウンロード上から照射型の蛍光Ｘ線による膜厚測定と素材分析装置となります。プログラム可能なXYステージにより、自動連続測定をすることも可能です。
| 型式 | XDAL 237 |
|---|---|
| 測定元素範囲 | Cl（17）～U（92） |
| Ｘ線検出器 | 半導体検出器（PIN） |
| Ｘ線管球 | マイクロフォーカスチューブ |
| プライマリフィルター | 3種類 |
| コリメーター数／サイズ | 4種／Φ0.1mm～Φ0.6mm |
| 本体寸法 | 570 x 760 x 650mm （幅 x 奥行 x 高さ） |
| 消費電力 | 最大120W |
| 型式 | XDAL 237 SDD |
|---|---|
| 測定元素範囲 | Al（13）～U（92） |
| Ｘ線検出器 | シリコン・ドリフト検出器（SDD） |
| Ｘ線管球 | マイクロフォーカスチューブ |
| プライマリフィルター | 3種類 |
| コリメーター数／サイズ | 4種／Φ0.1mm～Φ0.6mm |
| 本体寸法 | 570 x 760 x 650mm （幅 x 奥行 x 高さ） |
| 消費電力 | 最大120W |
