株式会社フィッシャー・インストルメンツ
株式会社フィッシャー・インストルメンツ
下から照射型の蛍光Ｘ線による膜厚測定と素材分析装置となります。Ｘ線検出器に半導体検出器（PIN）やシリコンドリフト検出器（SDD）、電動で交換可能なフィルターとコリメーターなど、様々な組み合わせのラインナップがあります。
| 型式 | XAN 215 |
|---|---|
| 測定元素範囲 | Cl（17）～U（92） |
| Ｘ線検出器 | 半導体検出器（PIN） |
| Ｘ線管球 | マイクロフォーカスチューブ |
| プライマリフィルター | 1種類固定 |
| コリメーター数／サイズ | 1種固定／Φ1mm |
| 本体寸法 | 403 x 588 x 365mm （幅 x 奥行 x 高さ） |
| 測定室内寸法 | 310 x 320 x 90mm （幅 x 奥行 x 高さ） |
| 消費電力 | 最大120W |
| 型式 | XAN 250 |
|---|---|
| 測定元素範囲 | Al（13）～U（92） |
| Ｘ線検出器 | シリコンドリフト検出器（SDD） |
| Ｘ線管球 | マイクロフォーカスチューブ |
| プライマリフィルター | 6種類 |
| コリメーター数／サイズ | 4種／Φ0.2mm～Φ2mm |
| 本体寸法 | 403 x 588 x 365mm （幅 x 奥行 x 高さ） |
| 測定室内寸法 | 310 x 320 x 90mm （幅 x 奥行 x 高さ） |
| 消費電力 | 最大120W |
| 型式 | XAN 252 |
|---|---|
| 測定元素範囲 | Al（13）～U（92） |
| Ｘ線検出器 | シリコンドリフト検出器（SDD） |
| Ｘ線管球 | マイクロフォーカスチューブ |
| プライマリフィルター | 6種類 |
| コリメーター数／サイズ | 4種／Φ0.2mm～Φ2mm |
| 本体寸法 | 403 x 588 x 444mm （幅 x 奥行 x 高さ） |
| 測定室内寸法 | 310 x 320 x 174mm （幅 x 奥行 x 高さ） |
| 消費電力 | 最大120W |
| その他 | 手動XYステージ付き |
