微小硬さ試験

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マイクロレンジの微小硬さ試験機

FISCHERSCOPE<sup>®</sup> HM2000

FISCHERSCOPE® HM2000

マイクロレンジの微小硬さ試験機です。ISO14577準拠の微小硬さ試験および材料パラメータ測定のためのコンピュータ制御の測定システムです。

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特長

  • 高精度なプログラミングXYステージにより、小さい構造体でも±0.5μm（オプション）の位置決め精度で測定
  • 防風チャンバとアクティブ除振台を使用して最大級の除振効果（オプション）が可能
  • 個々に環境設定できるソフトウエアWIN-HCU®によって直感的操作が可能

主な仕様

ISO14577準拠の微小硬さ試験および材料パラメータ測定のためのコンピュータ制御の測定システムです。

測定硬さレンジ 0.001 - 120,000 N／mm2
荷重範囲 0.1 - 2,000 mN
荷重精度 ≦ 150 nN
距離測定精度 ≦ 10 pm
測定ヘッド駆動サイズ Z: 130 mm
最大押し込み深さ 500µm
対物レンズ x4、x20、x40
XYステージ（駆動サイズ） X: 170mm、Y: 140mm
位置決め精度 ±2.0µm　（±0.5µm；オプション）

主な用途

  • PVD、CVDなどのドライコーティング（膜厚1µm以上）
  • LCD用のスペーサーの圧縮試験
  • 各種メッキ膜

ソリューション

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